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용액전사방식 연속 나노임프린트 기술
용액전사방식 연속 나노임프린트 기술 상세정보
대표분류
전기소자
연구기관
한국기계연구원
연구자
이재종, 임형준, 최기봉, 김기홍
기술내용
다층 나노임프린트장비 원천기술을 이용하여 용액전사공정과 나노임프린트 공정을 융합하여 6인치 크기에 나노패턴을 연속적으로 전사하는 기술
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