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극초미세형상 패터닝이 가능한 고온엠보싱 장비기술 상세정보
대표분류	전기소자
연구기관	한국기계연구원	연구자	곽호상, 박규진, 양진오, 손병철, 이재종, 박희창
기술내용	6인치 이상 크기의 기판에 나노-마이크로수준의 극초미세 형상을 패터닝할 수 있는 기술
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