나노 구조물 제작 및 표면 기능화를 위한 저온 초박막 코팅 기술

나노 구조물 제작 및 표면 기능화를 위한 저온 초박막 코팅 기술 상세정보
대표분류 나노기술
연구기관 한국기계연구원 연구자 김정환, 장성환, 최두선, 유영은, 윤재성, 전은채
기술내용 유연 디스플레이 혹은 폴리머 멤브레인 같은 고분자 기반 기판 표면에 저온공정을 통해 기능성 금속 / 산화물 초박막을 코팅하는 기술
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