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자기부상 물류 이송장치
자기부상 물류 이송장치 상세정보
대표분류
전기소자
연구기관
한국기계연구원
연구자
한형석, 김창현, 이종민, 김봉섭, 박도영
기술내용
반도체나 디스플레이 제조환경 같은 진공상태에서 대형 물품을 분진발생 없이 정밀하게 이송할 수 있는 초정밀 자기부상 시스템 기술
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