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미세먼지 저감용 저온아크 발생기술 상세정보
대표분류	전기소자
연구기관	한국기계연구원	연구자	이대훈, 송영훈, 김관태, 조성권, 변성현
기술내용	반도체 제조공정이나 다양한 화학 산업에서 발생되는 과불화화합물(perfluorinated compounds, PFCs)을 포함하는 난분해성 공정가스(처리기체)를 분해하는 플라즈마촉매 방식의 스크러버
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