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MEMS 마이크로폰 상세정보
대표분류	정보통신
연구기관	한국기계연구원	연구자	이영화, 허신, 정영도, 곽준혁
기술내용	단단한 후판부를 갖는 MEMS 마이크로폰을 제작하기 위하여 전기도금법 등을 이용하여 두꺼운 후판부를 제작함 후판부 제작을 표면미세가공기술이 아닌 몸체미세가공기술에 전기도금법을 적용함 타측에는 그리퍼가 장착될 수 있는 그리퍼 장착부가 형성되어, 로봇의 말단에 장착되어 로봇을 교시할 수 있도록 구성될 수 있음
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