고품위 실리콘 박막소재 공정 및 응용 기술
| 대표분류 | 도금 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 재료연구소 | 연구자 | 권정대, 남기석, 정용수, 김종국, 나종주, 김도근, 강재욱, 이건환, 이성훈, 윤정흠, 김동호, 이규환 |
| 기술내용 |
태양전지용 Si박막소재의 기존 기술 한계를 뛰어넘는 신개념의 고품위 실리콘 반도체박막 합성법 원천기술을 개발 결정성 제어와 증착속도 요구사항을 동시에 만족시킬 수 있는 대기압 플라즈마 CVD공정 기술과 장비를 개발 신개념 저가형 Si박막 태양전지 (도핑프리형) 제조 기술을 개발 박막태양전지용 핵심소재에 대한 평가기반을 구축, 박막 태양전지 소재 연구의 Hub 마련 |
||
| 자료집 | 다운로드 | ||