고온 용융염을 이용한 전기화학적 실리콘 막 제조방법

고온 용융염을 이용한 전기화학적 실리콘 막 제조방법 상세정보
대표분류 전기소자
연구기관 한국원자력연구원 연구자 배상은
기술내용 실리콘 산화물을 전기화학적으로 환원시키는 방법에 의한 실리콘 박막의 제조방법
반도체, 태양전지, 이차전지, 연료전지, 물분해전지, 원자로 핵연료, 방사성 동위원소 생산용 타겟, 화학반응 촉매, 각종 센서 제조 공정에 적용
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