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전기화학공정에 의한 방열기판 전극형성

전기화학공정에 의한 방열기판 전극형성 상세정보
대표분류 전기전자
연구기관 재료연구소 연구자 임재홍, 김지원, 이주열, 임동찬, 최승목
기술내용 Si3N4 방열기판에 무전해 도금을 통해 금속 전극 형성
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