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상압 플라즈마 표면처리 기술 상세정보
대표분류	도금
연구기관	재료연구소	연구자	권정대, 나종주, 윤정흠, 이건환
기술내용	0.1~1기압의 압력에서 고밀도 플라즈마를 발생하여 빠른 속도로 에칭, 기능성 박막 증착 등을 처리할 수 있는 기술 및 장비
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