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반도체 패키지 및 검사용 probe상 전도성 내마모 코팅 기술

반도체 패키지 및 검사용 probe상 전도성 내마모 코팅 기술 상세정보
대표분류 측정/검사/시험
연구기관 재료연구소 연구자 김종국, 장영준, 강용진, 김기택, 류호준
기술내용 금속층의 내구성 향상 및 전기 전도성 확보를 위한 무수소 DLC막 형성 기술
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