실리콘 나노입자 제조 기술
| 대표분류 | 화학 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 한국에너지기술연구원 | 연구자 | 장보윤, 김준수, 이진석 |
| 기술내용 | 플라즈마 퍼짐 현상을 최소화하여 실리콘 나노입자의 입도 및 품질을 향상시킬 수 있는 유도결합플라즈마(ICP: Inductive Coupled Plasma)를 이용한 실리콘 나노입자 제조 장치의 제조 기술 외벽에 ICP 코일이 권취되고, 내부에 튜브가 삽입되는 반응기를 포함하며 실리콘 나노입자 형성용 1차 가스 및 표면 처리용 2차 가스가 튜브의 내측 및 외측으로 분리 공급 | ||
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