초정밀 자기부상 물류이송장치
| 대표분류 | 차량/운수 | ||
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| 연구기관 | 한국전기연구원 | 연구자 | 이기창, 문석환, 박병건, 정시욱, 강도현, 구대현, 김종무, 김지원, 정연호 |
| 기술내용 |
차세대 OLED 제조 공정 등 최근의 FPD(Flat Panel Display) 진공 제조 공정에서는, 증착 및 회수의 전체 공정에서 전원이 인가되지 않는(Passive) 캐리어(Carrier)를, 레일을 따라 비접촉 자기 부상시켜서 정밀제어(속도 및 위치 제어) 하는 것이 요구된다. 이러한 FPD 진공 공정용 초정밀 자동 물류이송장치의 일종인 자기부상 컨베이어(Electromagnetic Conveyor, EMC)를 제안한다. 자기부상 컨베이어는 자기부상 선형베어링(Electromagnetic Levitation Linear Bearing, ELLB)과 안내 일체형 선형추진 전동기 시스템으로 구성된다. 자기부상 선형베어링은 레일이 설치된 전체 구간에서 Passive Carrier를 비접촉 지지하는 선형베어링 특성을 제공한다. 또한 안내 일체형 선형추진 전동기 시스템은 Passive Carrier가 레일을 비접촉으로 따라가게 하면서, 동시에 Passive Carrier를 정밀 서보제어(위치 및 속도)할 수 있다. |
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