저밀도 나노어레이용 나노템플레이트 제조기술

저밀도 나노어레이용 나노템플레이트 제조기술 상세정보
대표분류 분리/혼합
연구기관 한국전기연구원 연구자 하윤철, 정대영
기술내용 전기산화(electrochemical anodization) 기술을 기반으로 한 나노템플레이트는 지난 10여년간 0차원 및 1차원 나노구조의 소자 개발을 위한 형틀로서 활발히 연구되어 왔음
전기산화 기술은 그 산화막의 성장속도에 따라 연질 전기산화(mild anodization)와 경질 전기산화(hard anodization)로 구분될 수 있으며, 자기정렬(self-ordering)에 의한 균일 나노기공이 형성될 수 있는 대표적인 연질 전기산화와 경질 전기산화는 다음과 같은 조건에서 제조될 수 있다
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